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Mercury™1500V 最新數(shù)字量輸出編碼器,半導(dǎo)體處理設(shè)備和電子微型顯微鏡的理想應(yīng)用

Mercury™1500V 最新數(shù)字量輸出編碼器,半導(dǎo)體處理設(shè)備和電子微型顯微鏡的理想應(yīng)用

新型 Mercury™ 1500V數(shù)字輸出編碼器是用于真空設(shè)備最小的高性能數(shù)字輸出編碼器。達(dá)到1E-8托,傳感器通氣,是由適于真空的材料制成,可以持續(xù)48小時,1500C預(yù)熱除氣。


Mercury 1500 V 直接從傳感器輸出A-夸德-B及零位視窗數(shù)字輸出。所有的電子設(shè)備都安裝在一個高8.4mm的盒子中。這種傳感器的Z向高度很低,使M1500V編碼器成為半導(dǎo)體加工設(shè)備中運動平臺設(shè)計的理想設(shè)備。電子顯微鏡及其他需要真空的設(shè)備也受益于Mercury1500V的小尺寸和高性能。


Mercury 1500V的小尺寸,低價格會降低運動平臺的開支,縮減其尺寸,而重要的是會提高性能。可用分辨率從5μm 到 0.50μm的直線式,或從6,600 CPR到655,000 CPR旋轉(zhuǎn)式。在訂購時,只需明確說明廠定細(xì)分程度為x4, x8, x20, 或 x40。Mercury1500V是您在設(shè)計小尺寸高性能設(shè)備策略中不可或缺的部分。


Mercury1500V與該系列光柵編碼器有共同的設(shè)計目標(biāo),那就是方便安裝與應(yīng)用。所有的Mercury編碼器的傳感器都可與線性或旋轉(zhuǎn)玻璃光柵尺配合使用,這使原始產(chǎn)品制造商可以減少生產(chǎn)和外場支援庫存的開銷。


大的定位公差是Mercury編碼器傳感器成為行業(yè)中最容易調(diào)整的傳感器。定位公差可以± 2度,傳感器可以30秒內(nèi)完成調(diào)整。這種編碼器是最適合用戶的。


最后,Mercury1500V編碼器具有平穩(wěn)性。整個系統(tǒng)防電磁干擾,防電噪聲,可用于最惡劣環(huán)境,可加強整個系統(tǒng)的可靠性,可重復(fù)性和精確性。



Mercury™ 1500V規(guī)格

  • 小傳感器具有超低Z向高,平頭螺栓安裝

  • 傳感器:8.4mm (H) x 12.7mm (W) x 20.6mm (L),weight:1.6g

  • A-夸德-B輸出和傳感器頭的雙向零位信號

  • 廠定細(xì)分程度:x4, x8, x20, x40,分辨率從5μm 到 0.50μm(線性),6,600 CPR到 655,000 CPR(旋轉(zhuǎn))

  • 系統(tǒng)配有跨線,為客戶終端真空室壁做準(zhǔn)備

  • 雙向零位信號

  • 零位標(biāo)記在玻璃光柵尺的中間或末端(線性)

  • 真空達(dá)到1E-8托

 詳情請咨詢, GSI Group, MicroE Systems 中國區(qū)辦事處

info_china@microesys.com

 

 

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